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S5U-PH激光干涉仪

S5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制,可以满足条纹非常密集、超大像差(PV值非常大)状况下的准确测量。



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 一、仪器规格参数

S5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制,可以满足条纹非常密集、超大像差(PV值非常大)状况下的准确测量。
仪器规格参数表
硬件部分:
产品型号
S5U-PH
产品名称
5mm正立式激光干涉仪
测试口径
Φ5mm
辅助对准口径
Φ30mm
标准镜面形精度
λ/20
光源
进口半导体激光器(635nm)
光路切换
辅助观察(Φ30mm大视场)与测试(Φ5mm小视场)模式电控切换
电源
AC220V50HZ
软件部分:
软件名称
移相算法(简称PH)
分析项目
透过波前PV值、平行度Tilt值等
测试重复性
PV:0.01λ   RMS:0.003λ
测试允许误差
PV<1λ时    PV:0.05λ   Tilt:0.25fr(零场调整为1根条纹)
1λ<PV<2λ时  PV:0.1λ   Tilt:0.5fr(零场调整为1根条纹)
测试时间
1.5秒
 
二、仪器特点
1、摄像孔干涉图分辨率高
随着手机行业的发展,3D屏及全面屏的摄像孔开始无限靠近弧边,相应的,透过波前的PV值也远大于之前的2D及2.5D屏。尤其是摄像孔边缘区域(贴近弧边)的干涉条纹会非常密集,超出上一代产品G10U-PH激光干涉仪(及行业内主流的与G10相当的产品)的分辨极限,导致无法准确测量。
S5U-PH便针对该特殊需求而设计,可以对超大像差实现准确分辨及测试。
相同摄像孔在S5U及G10U干涉仪图像对比
最大可准确测量的像差,S5U-PH相对于G10U-PH的升级见下表:
 
G10U-PH
S5U-PH
条纹数
20fr
30fr
PV(背景零场测试值)
注:PV(背景零场测试值)为背景调整为零条纹时,直接测量所得的PV值。  
2、空腔调整零场精度高

在测试摄像小孔区域的平行度时,需要预先把空腔调整至接近零条纹。当测试口径为Φ5mm时,由于观察视场非常小,调整零条纹的精度较低。为此,S5U-PH干涉仪引入辅助观察模式,可以在Φ30mm的大视场下调节空腔的零场,保证零场调节精度。

一、仪器规格参数
S5U-PH与G5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制,可以满足更大的透过波前PV值的测量。其中S5U-PH为低成本版本,采用半导体激光器替代昂贵的进口He-Ne激光器,且不标配气浮平台。
仪器规格参数表
硬件部分:
产品型号
S5U-PH
产品名称
5mm正立式激光干涉仪
测试口径
Φ5mm
辅助对准口径
Φ30mm
标准镜面形精度
λ/20
光源
进口半导体激光器(635nm)
光路切换
辅助观察(Φ30mm大视场)与测试(Φ5mm小视场)模式电控切换
电源
AC220V50HZ
软件部分:
软件名称
移相算法(简称PH)
分析项目
透过波前PV值、平行度Tilt值等
测试重复性
PV:0.01λ   RMS:0.003λ
测试允许误差
PV<1λ    PV:0.05λ   Tilt0.2fr(零场调整为1根条纹)
1λ<PV<2λ PV:0.1λ   Tilt0.5fr(零场调整为1根条纹)
测试时间
1.5~2