选配要点： 待测球面的R/D(曲率半径与口径的比值)应当大于球面镜头的F数，才能实现全口径测量；建议选取F数最接近(略 小于)被测面R/D值的球面镜头。 凸面曲率半径与口径的测量范围受限于镜头标准面的曲率半径与有..

超精密球面反射标准镜的表面面形经过精密测量，可以认为是绝对球面，凹凸面均可选择。 球面反射标准镜的数据文件储存为Zygo干涉仪的标准数据格式，在Zygo干涉仪的数据中能够移 除标准球面的误差，这样测试精度能够达到PV<λ/30@632.8nm，定制产品可达到PV<λ/50@ 632.8nm.

在测量球面时，使被测球面的球心与标准镜头的焦点精确重合。凹面应该放置在光束 发散部分测试（图3），凸面放置在光束汇聚部分测试（图4）。