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球面标准镜头
选配要点:
待测球面的R/D(曲率半径与口径的比值)应当大于球面镜头的F数,才能实现全口径测量;建议选取F数最接近(略 小于)被测面R/D值的球面镜头。
凸面曲率半径与口径的测量范围受限于镜头标准面的曲率半径与有..
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超精密球面反射标准镜
超精密球面反射标准镜的表面面形经过精密测量,可以认为是绝对球面,凹凸面均可选择。 球面反射标准镜的数据文件储存为Zygo干涉仪的标准数据格式,在Zygo干涉仪的数据中能够移 除标准球面的误差,这样测试精度能够达到PV<λ/30@632.8nm,定制产品可达到PV<λ/50@ 632.8nm.
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乾曜光学球面镜头选择说明
在测量球面时,使被测球面的球心与标准镜头的焦点精确重合。凹面应该放置在光束 发散部分测试(图3),凸面放置在光束汇聚部分测试(图4)。