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大口径激光干涉仪G450

 G450M大口径激光干涉仪系统是双路测量系统:一路是100mm(4英寸)小口径测 量系统,另一路是大口径平面测量系统。100mm口径系统可以进行平面元件和球面元件的测量。大 口径平面测量系统从100mm口径扩束到450mm(18英寸),标配平面透过 标准镜和平面反射标准镜。
G450S大口径激光干涉仪单光路系统,适合光学车间平面元件的现场检验。 主要用途:平面类光学元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)表面面形、光学平行度和材料均匀性 的测试;准直系统波前质量的测试。球面类光学元件(包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光 圈量规、球面轴承等)表面光圈、局部形变的测量,球面曲率半径的测量(配合光栅尺)。平面类 光学元件(平面镜、水晶、陶瓷、标准量块等)的表面光圈的测量。



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仪器规格参数表

产品型号
G450M
G450S
G300M
G300S
测量方式
菲索干涉原理
菲索干涉原理
菲索干涉原理
菲索干涉原理
有效通光口径
100mm和450mm
450mm
100mm和300mm
300mm
标准镜材料
熔石英
熔石英
熔石英
熔石英
光源
波长调谐激光(632.8nm),配合波长移相干涉条纹分析软件
氦氖激光(632.8nm)不选配干涉条纹分析软件
连续变焦倍数
1-6.7倍
固定倍率
1-6.7倍
固定倍率
光路切换
对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换
显示方式
计算机或独立监视器实时显示
小口径平面标准镜
PV:优于λ/20
 
PV:优于λ/20
 
小口径球面标准镜
PV:优于λ/10和λ/20
 
PV:优于λ/10和λ/20
 
大口径平面透过标准镜
PV:优于λ/10
PV:优于λ/10
PV:优于λ/15
PV:优于λ/15
大口径平面反射标准镜
PV:优于λ/10
PV:优于λ/10
PV:优于λ/15
PV:优于λ/15
大口径综合测量精度
PV:优于λ/10
PV:优于λ/10
PV:优于λ/10
PV:优于λ/10
衰减过滤片
选配
电源
AC100-240V 50/60Hz
推荐气浮平台尺寸
(长X宽)
3.5X1.2米
3.5X1.2米
2.5X1.2米
2.5X1.2米