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G200M,G150M和G150S激光平面干涉仪

G200M,G150M和G150S激光平面干涉仪为正立式结构,通光口径分别为200mm和150mm。 G200M弥补了国内使用有效口径150mm的干涉仪测试大尺寸光学系统和光学元件不能全口径 测试的不足,改善提高了大口径光学系统和光学元件测试精度。

G150M型平面干涉仪专为计量级测试的需求设计,适用于计量机构检定和校准光学平晶。其集 高性能、长寿命氦氖激光器,1-6.7倍图像放大功能,高精度的成像系统和图像采集系统,精密平面 标准镜等一系列高精技术,通过优化光学系统和机械系统结构,实现高精密平面光学元件的测量。

G150S为G150M的简化版本,适合光学车间的现场检验。

主要用途:平面类光学元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)表面面形、光学平行度和材料均匀性的 测试;准直系统波前质量的测试。 



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 仪器规格参数表

 

产品型号
G200M
G150M
G150S
测量方式
菲索干涉原理
菲索干涉原理
菲索干涉原理
有效通光口径
200mm
152.4mm(6英寸)
152.4mm(6英寸)
标准镜材料
熔石英(康宁7980)
熔石英(康宁7980)
熔石英(康宁7980)
光源
氦氖激光(632.8nm)
氦氖激光(632.8nm)
半导体激光(635nm)
连续变焦倍数
1-6.7倍
1-6.7倍
固定倍率
光路切换
对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换
显示方式
计算机或独立监视器实时显示
平面透过标准镜
PV:优于λ/15
PV:优于λ/20,可定制更高精度标准镜
平面反射标准镜
选配
标配
选配
衰减过滤片
选配
选配
选配
仪器尺寸·(长X宽X高)
550X550X1100mm
550X550X1070mm
550X550X1070mm
仪器重量
100KG
80KG
80KG
电源
AC100-240V 50/60Hz
AC100-240V 50/60Hz
AC100-240V 50/60Hz
气浮平台(长X宽)
标配(1200X600mm)
标配(1200X600mm)
选配