主要用途: 球面类光学元件 (包括各类玻璃、塑料透镜、球 面反射镜、光圈量规、球面轴承 等)表面光圈、局部形变的测量, 球面曲率半径的测量(配合光栅 尺)。平面类光学元件(平面镜、 水晶、陶瓷、标准量块等)的表 面光圈的测量。光学系统的在线 监视装调和系统精度测量。
产品型号
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G100
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G150
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有效通光口径
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101.6 mm(4英寸)
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152.4mm(6英寸)
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测量方式
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菲索干涉原理
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光源
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氦氖激光(632.8nm)
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连续变焦倍数
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1-6.7倍
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光路切换
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对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换
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显示方式
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计算机或独立监视器实时显示
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标准镜头
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平面镜,F0.65,F0.75,F1.0, F1.5,F2.2, F3.3,F5.0,F7.1和F10.7等
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球面标准镜精度
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PV:优于λ/10和λ/20
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PV:优于λ/10
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平面标准镜精度
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PV:优于λ/20
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PV:优于λ/20
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仪器尺寸(长X宽X高)
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630X400X410mm
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750X420X460mm
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仪器重量
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40KG
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50KG
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电源
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AC100-240V 50/60Hz
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1/2英寸尺寸黑白CCD,相对1/3英寸CCD加大的感光面积,有效提高成像分辨率;
进口氦氖激光器,性能稳定,寿命长。
球面标准镜头系列有多个规格汇聚镜头和长焦距发散镜头,提供定制镜头。标准镜头分别与Zygo 4英寸和6英寸干涉仪通用。
普通精度球面标准镜技术参数
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型号
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有效口径
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材料
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精度 (λ=633nm)
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QY-150-Fxx
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152.4mm(or 6 inches)
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熔石英 (Corning 7980)
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PV<λ/10
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QY-100-Fxx
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101.6 mm(or 4 inches)
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熔石英 (Corning 7980)
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PV<λ/10 和 PV<λ/20
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适用干涉仪 |
F数
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标准面曲率半径(mm)
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曲率半径测量范围(mm)
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最大测量口径(mm)
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凸
|
凹
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凸
|
凹
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G150
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QY-150-F0.8
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80
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8~80
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8~
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100
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卧式干涉仪凹面测量受隔振平台尺寸的限制。
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QY-150-F1.1
|
123.3
|
12~123.3
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12~
|
112
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QY-150-F1.5
|
187
|
19~187
|
19~
|
125
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QY-150-F2.2
|
303
|
30~303
|
30~
|
137
|
||
QY-150-F3.3
|
470
|
47~470
|
47~
|
142
|
||
QY-150-F5.5
|
808
|
81~808
|
81~
|
145
|
||
QY-150-F7.3
|
1075
|
108~1075
|
108~
|
145
|
||
QY-150-F11
|
1656
|
166~1656
|
166~
|
146
|
||
QY-150-F15
|
2271
|
227~2271
|
227~
|
146
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||
QY-150-F25
|
3783
|
378~3783
|
—
|
146
|
||
QY-150-F30
|
4560
|
456~4557
|
—
|
146
|
||
QY-150-F45
|
6814
|
681~6814
|
—
|
146
|
||
G100
|
QY-100-F0.65
|
38
|
4~38
|
4~
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58
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卧式干涉仪凹面测量受隔振平台尺寸的限制。
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QY-100-F0.75
|
45
|
5~45
|
5~
|
60
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||
QY-100-F1.0
|
65
|
7~65
|
7~
|
64
|
||
QY-100-F1.5
|
121
|
12~121
|
12~
|
76
|
||
QY-100-F2.2
|
191
|
19~191
|
19~
|
80
|
||
QY-100-F3.3
|
298
|
30~298
|
30~
|
85
|
||
QY-100-F5.0
|
490
|
49~490
|
49~
|
97
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||
QY-100-F7.1
|
682
|
68~682
|
68~
|
95
|
||
QY-100-F10.7
|
1039
|
104~1039
|
104~
|
96
|
||
QY-100-F15
|
1500
|
150~1500
|
150~
|
99
|
||
QY-100-F25
|
2500
|
250~2500
|
250~
|
99
|
||
QY-100-F45
|
4500
|
450~4500
|
—
|
99
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||
QY-100-F10D
|
1025
|
—
|
—
|
—
|
||
QY-100-F15D
|
1500
|
—
|
—
|
—
|
||
QY-100-F25D
|
2500
|
—
|
—
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|||
QY-100-F45D
|
4500
|
—
|
|
—
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