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G100和G150卧式激光干涉仪

G100和G150卧式激光干涉仪的有效口径分别为100mm(4英寸)和150mm(6英寸)。乾曜光学 将世界先进干涉测量技术与大尺寸、大曲率镜片测量的市场需求相结合,优化光学系统和机械系统 结构,将高精度的成像系统和图像采集系统,稳定的激光干涉技术和1-6.7倍图像放大功能等一系列 高精技术融合,满足科研级高精密光学元件和光学系统的测量的高端要求。

G150激光干涉仪配置6英寸球面标准镜,能够有效地解决大口径凸面镜的面形和曲率测试。



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主要用途: 球面类光学元件 (包括各类玻璃、塑料透镜、球 面反射镜、光圈量规、球面轴承 等)表面光圈、局部形变的测量, 球面曲率半径的测量(配合光栅 尺)。平面类光学元件(平面镜、 水晶、陶瓷、标准量块等)的表 面光圈的测量。光学系统的在线 监视装调和系统精度测量。

仪器规格参数表

产品型号
G100
G150
有效通光口径
101.6 mm(4英寸)
152.4mm(6英寸)
测量方式
菲索干涉原理
光源
氦氖激光(632.8nm)
连续变焦倍数
1-6.7倍
光路切换
对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换
显示方式
计算机或独立监视器实时显示
标准镜头
平面镜,F0.65,F0.75,F1.0, F1.5,F2.2, F3.3,F5.0,F7.1和F10.7等
球面标准镜精度 
PV:优于λ/10和λ/20
PV:优于λ/10
平面标准镜精度
PV:优于λ/20
PV:优于λ/20
仪器尺寸(长X宽X高)
630X400X410mm
750X420X460mm
仪器重量
40KG
50KG
电源
AC100-240V 50/60Hz
 

核心器件大品牌,性能稳定

 

1/2英寸尺寸黑白CCD,相对1/3英寸CCD加大的感光面积,有效提高成像分辨率;
进口氦氖激光器,性能稳定,寿命长。

 

 

人体工学,匠心设计

球面测量系统:
➢45mm宽规格导轨,精度高,滑动顺畅,五维调整架安装于导轨上方。
➢五维调整架XYZ平移全部使用直线导轨结构,线性好,弹簧辅助消间隙。
➢五维调整架可调同轴透镜座(三爪)最大夹持160mm。
➢可调同轴透镜座(三爪)调节螺杆反向螺牙设计,实现顺时针旋转收缩,逆时针旋转扩张
 

 

世界第一品牌球面测量系统,中国特供:

➢单根25mm细导轨结构,载物台直接在气浮平台上摩擦滑动,磨损气浮平台。
➢五维调整架XYZ平移全部使用交叉导轨结构,容易磨损产生间隙,不可消除。
➢五维调整架可调同轴透镜座(三爪)最大夹持仅110mm。
➢可调同轴透镜座(三爪)调节螺杆正向螺牙设计,顺时针旋转扩张,逆时针旋转收缩,与操作习惯相反,容易造成镜片摔落。
 

 

100mm和150mm球面标准镜头(G100和G150) 

 

 球面标准镜头系列有多个规格汇聚镜头和长焦距发散镜头,提供定制镜头。标准镜头分别与Zygo 4英寸和6英寸干涉仪通用。

 

 

选配要点:
➢待测球面的R/D(曲率半径与口径的比值)应当大于球面镜头的F数,才能实现全口径测量;建议选取F数最接近(略小于)被测面R/D值的球面镜头。
➢凸面曲率半径与口径的测量范围受限于镜头标准面的曲率半径与有效通光口径;凹面的测量范围受限于测试腔的长度(也即是仪器导轨的有效移动距离)与宽度(也即是载物台的横向尺寸)。
 
普通精度球面标准镜技术参数
 型号
有效口径
材料
精度 (λ=633nm)
QY-150-Fxx
152.4mm(or 6 inches)
熔石英 (Corning 7980)
PV<λ/10
QY-100-Fxx
101.6 mm(or 4 inches)
熔石英 (Corning 7980)
PV<λ/10 和 PV<λ/20
 
 
 
 
 
 
 
 
适用干涉仪
F数
标准面曲率半径(mm)
曲率半径测量范围(mm)
最大测量口径(mm)
G150
 
QY-150-F0.8
80
8~80
8~
100
卧式干涉仪凹面测量受隔振平台尺寸的限制。
QY-150-F1.1
123.3
12~123.3
12~
112
QY-150-F1.5
187
19~187
19~
125
QY-150-F2.2
303
30~303
30~
137
QY-150-F3.3
470
47~470
47~
142
QY-150-F5.5
808
81~808
81~
145
QY-150-F7.3
1075
108~1075
108~
145
QY-150-F11
1656
166~1656
166~
146
QY-150-F15
2271
227~2271
227~
146
QY-150-F25
3783
378~3783
146
QY-150-F30
4560
456~4557
146
QY-150-F45
6814
681~6814
146
G100
 
QY-100-F0.65
38
4~38
4~
58
卧式干涉仪凹面测量受隔振平台尺寸的限制。
QY-100-F0.75
45
5~45
5~
60
QY-100-F1.0
65
7~65
7~
64
QY-100-F1.5
121
12~121
12~
76
QY-100-F2.2
191
19~191
19~
80
QY-100-F3.3
298
30~298
30~
85
QY-100-F5.0
490
49~490
49~
97
QY-100-F7.1
682
68~682
68~
95
QY-100-F10.7
1039
104~1039
104~
96
QY-100-F15
1500
150~1500
150~
99
QY-100-F25
2500
250~2500
250~
99
QY-100-F45
4500
450~4500
99
QY-100-F10D
1025
QY-100-F15D
1500
QY-100-F25D
2500
QY-100-F45D
4500
 
 
 
 
注:
1、QY-150-XX系列镜头适用于G150系列干涉仪;QY-100-XX系列镜头适用于G100系列干涉仪;
2、表中可测定的最大曲率半径是在设定被检物的厚度为零的情况下的数值。
3、可检查最小口径以及最小曲率半径根据被检物的形状而异。